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  17       F    -0.13    -1.38    15.55      44.97       0.70    -0.68     16
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  19       C    -0.09     0.35     5.14     -19.78      -0.10     0.25     16
  20       C    -0.08     0.35     2.97      71.24       0.21     0.56     16
  21       O    -0.54     0.87    11.63    -148.98      -1.73    -0.86     16
  22       Si    0.75    -2.65    29.54      68.60       2.03    -0.62     16
  23       C     0.09    -0.56     6.65      22.33       0.15    -0.42     16
  24       F    -0.09     0.80    13.67      44.97       0.61     1.41     16
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  28       C    -0.21     0.15     9.04      22.36       0.20     0.35     16
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  45       H     0.15    -1.27     6.67      -2.91      -0.02    -1.29     16
  46       H     0.14    -0.69     6.30      -2.91      -0.02    -0.71     16
 Total:          0.00   -23.55   386.61                  2.07   -21.48