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  14       O    -0.53    -3.51    16.04       5.32       0.09    -3.43     16
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  18       C     0.12     0.36     9.84     -17.47      -0.17     0.19     16
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  20       C    -0.07     0.03     2.83      36.00       0.10     0.13     16
  21       O    -0.54     0.05    12.75     -35.23      -0.45    -0.40     16
  22       Si    0.69    -1.21    29.82    -169.99      -5.07    -6.28     16
  23       C     0.02     0.05     9.31     -38.87      -0.36    -0.31     16
  24       C    -0.13     0.05     7.32     -25.92      -0.19    -0.14     16
  25       C    -0.13     0.08     9.02     -39.64      -0.36    -0.28     16
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 Total:          0.00    -9.92   392.75                -10.33   -20.24