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   5       O    -0.54    -4.52    15.65      21.98       0.34    -4.18     16
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  14       O    -0.57    -8.26    16.50      16.00       0.26    -7.99     16
  15       C     0.04    -0.12     5.22      71.23       0.37     0.25     16
  16       O    -0.32    -2.17     9.67     -73.37      -0.71    -2.88     16
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  20       C    -0.10    -0.16     2.80      71.24       0.20     0.04     16
  21       O    -0.55    -3.07    12.83    -148.98      -1.91    -4.98     16
  22       Si    0.79    -1.57    29.88      68.60       2.05     0.48     16
  23       C    -0.16     0.36     8.67      22.28       0.19     0.55     16
  24       C    -0.07     0.32    10.04      22.25       0.22     0.55     16
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  30       H     0.07     0.02     8.13      -2.39      -0.02     0.00     16
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 Total:          0.00   -30.08   409.56                  2.07   -28.01