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  22       Si    0.74    -0.69    30.19      68.60       2.07     1.38     16
  23       C    -0.07    -0.03     8.20      22.25       0.18     0.15     16
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  25       C     0.51     1.02     3.31      71.24       0.24     1.26     16
  26       F    -0.18    -0.28    15.97      44.97       0.72     0.44     16
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  28       F    -0.18    -0.47    17.23      44.97       0.78     0.30     16
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  30       C    -0.14     0.89     8.70      22.40       0.19     1.09     16
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  50       H     0.16    -1.89     7.16      -2.91      -0.02    -1.91     16
 Total:          0.00   -28.26   423.57                  1.28   -26.98