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  16       C     0.07    -0.14     7.39      37.16       0.27     0.13     16
  17       F    -0.22    -0.44    17.36       2.25       0.04    -0.41     16
  18       C    -0.15     0.21     7.44     -25.83      -0.19     0.02     16
  19       C    -0.14    -0.57     5.31    -104.45      -0.55    -1.13     16
  20       C    -0.06    -0.15     2.36      36.00       0.09    -0.06     16
  21       O    -0.54    -1.75    12.86     -35.23      -0.45    -2.20     16
  22       Si    0.68     0.24    30.20    -169.99      -5.13    -4.89     16
  23       C    -0.04    -0.14     8.65     -39.62      -0.34    -0.48     16
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  26       H     0.10    -0.34     8.14     -51.93      -0.42    -0.76     16
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  31       H     0.40    -2.06     8.71     -40.82      -0.36    -2.41     16
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  41       H    -0.25    -0.65     7.11      56.52       0.40    -0.25     16
  42       H     0.13     0.30     4.89     -52.49      -0.26     0.04     16
  43       H     0.13    -0.01     6.29     -52.49      -0.33    -0.34     16
 Total:          0.00   -10.93   361.81                 -8.71   -19.64