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   5       C    -0.06     0.08     3.75     -11.01      -0.04     0.04     16
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  14       C     0.14     0.41     7.28      22.67       0.17     0.58     16
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  16       C    -0.13     0.28     8.62      22.27       0.19     0.48     16
  17       C    -0.09     0.24     5.27     -19.78      -0.10     0.13     16
  18       C    -0.09     0.28     2.44      71.24       0.17     0.45     16
  19       O    -0.54    -0.04    12.88    -148.98      -1.92    -1.96     16
  20       Si    0.77    -3.76    30.24      68.60       2.07    -1.69     16
  21       C     0.10    -0.17     7.23      22.33       0.16    -0.01     16
  22       F    -0.13    -0.14    16.73      44.97       0.75     0.61     16
  23       C    -0.08     0.28     9.52      22.57       0.21     0.49     16
  24       C    -0.14     0.15     7.26      31.12       0.23     0.38     16
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  28       C    -0.22    -0.31     9.04      22.37       0.20    -0.11     16
  29       H     0.12    -0.88     8.14      -2.39      -0.02    -0.90     16
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  46       H     0.14    -0.28     6.30      -2.91      -0.02    -0.30     16
 Total:          0.00   -21.11   387.10                  2.13   -18.98