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   5       O    -0.54    -5.87    15.65      21.95       0.34    -5.53     16
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  16       C     0.15     0.91     6.76      39.50       0.27     1.18     16
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  21       Si    0.76    -3.61    31.97      68.60       2.19    -1.42     16
  22       C    -0.15     0.20     8.67      22.03       0.19     0.39     16
  23       C     0.11    -0.09    11.18      83.30       0.93     0.84     16
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  31       H     0.07     0.13     8.13      -2.38      -0.02     0.11     16
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  48       H     0.10     0.13     7.40      -2.38      -0.02     0.11     16
 Total:          0.00   -30.27   410.25                 -0.83   -31.10