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   5       O    -0.54    -5.31    15.65      21.95       0.34    -4.97     16
   6       C    -0.10     0.35     4.19     -10.95      -0.05     0.30     16
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  10       O    -0.54     4.18    13.40    -148.98      -2.00     2.18     16
  11       C     0.11    -0.45     5.30      86.38       0.46     0.01     16
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  13       C     0.56     0.39     7.77      86.75       0.67     1.07     16
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  15       C    -0.15     0.31     5.87     -20.09      -0.12     0.20     16
  16       C    -0.02    -0.03     9.21      22.51       0.21     0.18     16
  17       C    -0.13    -0.23     4.80     -19.86      -0.10    -0.32     16
  18       C    -0.09    -0.07     2.79      71.24       0.20     0.13     16
  19       O    -0.56    -2.13    12.86    -148.98      -1.92    -4.05     16
  20       Si    0.75     0.10    30.77      68.60       2.11     2.21     16
  21       C     0.11     0.15     6.67      22.47       0.15     0.30     16
  22       F    -0.13    -0.76    12.84      44.97       0.58    -0.18     16
  23       C    -0.15     0.83    10.01      22.27       0.22     1.06     16
  24       C    -0.03     0.30     9.54      22.52       0.21     0.51     16
  25       C    -0.13     1.08     7.03      31.18       0.22     1.30     16
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  28       H     0.07    -0.29     8.14      -2.39      -0.02    -0.31     16
  29       H     0.07     0.05     8.13      -2.39      -0.02     0.03     16
  30       H     0.07     0.08     8.13      -2.39      -0.02     0.06     16
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  33       H     0.39    -6.23     7.42     -74.06      -0.55    -6.78     16
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  45       H     0.10    -0.66     7.94      -2.39      -0.02    -0.68     16
 Total:          0.00   -28.29   382.92                 -0.68   -28.97