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   5       O    -0.54    -5.20    15.65      21.97       0.34    -4.86     16
   6       C    -0.10     0.31     4.20     -11.01      -0.05     0.27     16
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   9       C     0.11    -0.74     1.41     -10.27      -0.01    -0.76     16
  10       O    -0.54     3.61    13.42    -148.98      -2.00     1.61     16
  11       C     0.10    -0.50     5.26      86.38       0.45    -0.04     16
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  14       O    -0.50    -5.42    16.50      15.99       0.26    -5.16     16
  15       C     0.43     1.78     2.05      71.24       0.15     1.93     16
  16       F    -0.17    -0.37    15.28      44.97       0.69     0.31     16
  17       F    -0.17    -0.49    15.31      44.97       0.69     0.20     16
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  22       C    -0.11    -0.48     5.42     -19.85      -0.11    -0.59     16
  23       C    -0.07     0.13     2.81      71.24       0.20     0.33     16
  24       O    -0.56     0.95    12.74    -148.98      -1.90    -0.95     16
  25       Si    0.77    -2.09    29.78      68.60       2.04    -0.04     16
  26       C    -0.05    -0.19     9.60      22.26       0.21     0.03     16
  27       C    -0.13    -0.71     9.99      22.37       0.22    -0.48     16
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  29       H     0.07    -0.25     8.14      -2.39      -0.02    -0.27     16
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  32       H     0.07     0.08     8.13      -2.39      -0.02     0.06     16
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  49       H     0.10    -0.30     8.14      -2.39      -0.02    -0.32     16
 Total:          0.00   -26.95   421.71                  0.02   -26.93