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  14       C    -0.13    -1.18     6.87      67.35       0.46    -0.72     16
  15       Cl    0.01     0.06    27.20      -2.72      -0.07    -0.01     16
  16       S     0.20     0.93    20.17     -56.49      -1.14    -0.21     16
  17       C    -0.19    -0.06     5.71      24.52       0.14     0.08     16
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  19       O    -0.56     3.76    12.83    -148.98      -1.91     1.85     16
  20       Si    0.75    -4.37    30.90      68.60       2.12    -2.25     16
  21       C    -0.06     0.01     9.71      22.70       0.22     0.23     16
  22       C    -0.15     0.13     7.46      31.12       0.23     0.37     16
  23       H     0.05    -0.07     8.14      -2.38      -0.02    -0.09     16
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 Total:          0.00   -21.71   355.84                 -1.39   -23.11