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   5       O    -0.53    -6.34    14.49      21.97       0.32    -6.03     16
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  16       C     0.12     0.28     7.17      41.78       0.30     0.58     16
  17       C    -0.09    -0.06     9.88      71.23       0.70     0.64     16
  18       N    -0.53     0.75     5.90    -171.07      -1.01    -0.26     16
  19       C    -0.01     0.01     6.47      40.98       0.27     0.28     16
  20       C    -0.06     0.20     3.08      71.24       0.22     0.42     16
  21       O    -0.55     0.03    12.88    -148.98      -1.92    -1.88     16
  22       Si    0.79    -3.20    30.57      68.60       2.10    -1.11     16
  23       C    -0.16     0.01     9.03      23.62       0.21     0.22     16
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  27       H     0.07    -0.28     8.14      -2.39      -0.02    -0.30     16
  28       H     0.06     0.17     8.13      -2.39      -0.02     0.15     16
  29       H     0.07     0.15     8.13      -2.39      -0.02     0.13     16
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  45       H     0.09    -0.53     8.10      -2.39      -0.02    -0.55     16
 Total:          0.00   -26.07   380.55                  0.74   -25.33