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  15       O    -0.32     2.81     9.67     -73.43      -0.71     2.10     16
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  21       Si    0.78    -8.74    29.85      68.60       2.05    -6.69     16
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  24       C    -0.20     2.82     9.04      22.37       0.20     3.02     16
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  47       H     0.08    -3.20     7.18      -2.38      -0.02    -3.22     16
  48       H     0.12    -5.64     7.90      -2.39      -0.02    -5.66     16
 Total:          1.00   -93.41   381.86                  0.88   -92.53