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   5       C     0.01    -0.53     4.57      86.30       0.39    -0.14     16
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  14       C    -0.13     2.06     5.87     -20.07      -0.12     1.95     16
  15       C    -0.10     2.16     9.46      22.28       0.21     2.37     16
  16       C    -0.08     1.28    10.03      22.20       0.22     1.51     16
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  20       O    -0.57     8.38    12.86    -148.98      -1.92     6.47     16
  21       Si    0.77   -11.71    30.79      68.60       2.11    -9.59     16
  22       C     0.06    -0.59    10.43      83.09       0.87     0.28     16
  23       N    -0.58     6.35     6.07    -187.71      -1.14     5.21     16
  24       C     0.06    -0.59     7.26      38.95       0.28    -0.31     16
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 Total:          1.00   -89.51   381.72                 -0.17   -89.68