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   4       C    -0.45     1.52     8.65     101.05       0.87     2.39     16
   5       C    -0.17     0.47     5.59      59.85       0.33     0.80     16
   6       N    -0.34    -0.08     3.01      -9.17      -0.03    -0.10     16
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   9       N    -0.61     0.19     5.47     -10.03      -0.05     0.13     16
  10       C     0.51     1.13     7.31     -10.98      -0.08     1.05     16
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  13       F    -0.17    -0.24    15.27       2.25       0.03    -0.20     16
  14       F    -0.17    -0.21    15.31       2.25       0.03    -0.18     16
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  16       C     0.11     0.34     6.48     -39.22      -0.25     0.09     16
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  20       C    -0.08     0.04     2.79      36.01       0.10     0.14     16
  21       O    -0.54    -0.01    12.81     -35.23      -0.45    -0.46     16
  22       Si    0.94    -0.63    25.14    -169.99      -4.27    -4.90     16
  23       H    -0.25    -0.18     7.04      56.52       0.40     0.22     16
  24       H    -0.25     0.02     7.11      56.52       0.40     0.42     16
  25       H    -0.25     0.16     7.11      56.52       0.40     0.56     16
  26       C    -0.05    -0.07     9.68     -39.61      -0.38    -0.45     16
  27       C    -0.12    -0.26     9.99     -39.43      -0.39    -0.65     16
  28       C     0.05     0.17    10.84     -17.22      -0.19    -0.02     16
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  32       H     0.07    -0.07     7.96     -51.93      -0.41    -0.48     16
  33       H     0.07    -0.19     7.96     -51.93      -0.41    -0.60     16
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 Total:          0.00    -9.31   421.39                 -6.74   -16.05