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   3       C     0.04    -0.04     0.85     -89.81      -0.08    -0.12     16
   4       C     0.44     0.17     2.52      37.16       0.09     0.27     16
   5       F    -0.18    -0.02    15.82       2.25       0.04     0.01     16
   6       F    -0.17    -0.40    17.10       2.25       0.04    -0.36     16
   7       F    -0.18    -0.11    15.39       2.25       0.03    -0.08     16
   8       C    -0.13     0.20     7.13     -25.92      -0.18     0.02     16
   9       C     0.14    -0.23     4.17     -67.12      -0.28    -0.51     16
  10       H     0.13     0.02     7.46     -51.93      -0.39    -0.36     16
  11       N    -0.72     1.43     5.30     -54.06      -0.29     1.14     16
  12       C     0.56     0.59     7.76     -12.48      -0.10     0.49     16
  13       O    -0.53    -2.52    15.94       5.28       0.08    -2.43     16
  14       C    -0.14     0.00     5.88    -104.95      -0.62    -0.62     16
  15       C    -0.06    -0.04     8.19     -39.23      -0.32    -0.36     16
  16       C    -0.10    -0.03     5.27    -104.49      -0.55    -0.58     16
  17       C    -0.05    -0.02     2.33      36.01       0.08     0.06     16
  18       O    -0.52    -0.79    12.88     -35.23      -0.45    -1.25     16
  19       Si    0.67     0.16    30.24    -169.99      -5.14    -4.98     16
  20       C     0.15    -0.01     4.70     -83.86      -0.39    -0.41     16
  21       N    -0.51     0.08     4.20    -186.86      -0.79    -0.71     16
  22       C     0.02    -0.04     9.34      60.06       0.56     0.52     16
  23       C     0.03    -0.03     9.38      60.07       0.56     0.53     16
  24       C    -0.16     0.23     8.53     -39.45      -0.34    -0.11     16
  25       C    -0.07     0.14     9.53     -39.23      -0.37    -0.23     16
  26       C    -0.16     0.48     6.66     -25.92      -0.17     0.31     16
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  47       H     0.11    -0.48     8.04     -51.93      -0.42    -0.89     16
 Total:          0.00    -7.67   390.19                 -7.94   -15.61