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   5       F    -0.18    -0.12    15.24       2.25       0.03    -0.09     16
   6       F    -0.17    -0.41    17.09       2.25       0.04    -0.37     16
   7       F    -0.17    -0.04    15.82       2.25       0.04     0.00     16
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   9       C     0.14    -0.27     4.18     -67.12      -0.28    -0.55     16
  10       H     0.13     0.00     7.46     -51.93      -0.39    -0.39     16
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  12       C     0.52    -0.25     7.83     -10.98      -0.09    -0.34     16
  13       O    -0.53    -1.96    15.58       5.56       0.09    -1.87     16
  14       C    -0.14     0.32     6.07     -27.89      -0.17     0.15     16
  15       C     0.07     0.03     4.03      37.16       0.15     0.18     16
  16       O    -0.31    -0.64    10.14     -19.43      -0.20    -0.84     16
  17       C     0.14     0.41     6.69     -39.22      -0.26     0.15     16
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  19       C    -0.08    -0.28     8.66     -39.61      -0.34    -0.63     16
  20       C    -0.11    -0.34     5.42    -104.60      -0.57    -0.90     16
  21       C    -0.07    -0.03     2.81      36.01       0.10     0.07     16
  22       O    -0.55    -0.32    12.74     -35.23      -0.45    -0.77     16
  23       Si    0.68    -0.26    29.78    -169.99      -5.06    -5.33     16
  24       C    -0.05    -0.12     9.60     -39.61      -0.38    -0.50     16
  25       C    -0.15    -0.35     9.99     -39.43      -0.39    -0.75     16
  26       C    -0.13     0.21     7.13     -25.92      -0.18     0.03     16
  27       H     0.06    -0.16     6.75     -51.93      -0.35    -0.51     16
  28       H     0.10    -0.27     8.14     -51.93      -0.42    -0.69     16
  29       H     0.05    -0.06     6.25     -51.93      -0.32    -0.39     16
  30       H     0.11    -0.49     8.04     -51.93      -0.42    -0.91     16
  31       H     0.10    -0.36     6.74     -51.93      -0.35    -0.71     16
  32       H     0.41    -2.32     8.73     -40.82      -0.36    -2.68     16
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  34       H     0.11    -0.41     8.14     -51.93      -0.42    -0.84     16
  35       H     0.07     0.07     7.63     -51.93      -0.40    -0.33     16
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  45       H     0.10    -0.08     8.14     -51.93      -0.42    -0.50     16
  46       H     0.12    -0.31     7.01     -51.93      -0.36    -0.67     16
 Total:          0.00    -9.49   390.99                 -7.82   -17.31