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   6       F    -0.18    -0.03    15.71       2.25       0.04     0.01     16
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  10       H     0.13     0.00     7.46     -51.93      -0.39    -0.39     16
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  12       C     0.56     0.65     7.73     -12.33      -0.10     0.55     16
  13       O    -0.52    -2.05    12.88       5.32       0.07    -1.98     16
  14       C    -0.15    -0.08     5.87    -104.97      -0.62    -0.70     16
  15       C    -0.08     0.09     8.14     -39.19      -0.32    -0.23     16
  16       C    -0.13     0.12     5.26    -104.68      -0.55    -0.43     16
  17       C    -0.07     0.11     1.88      36.00       0.07     0.18     16
  18       O    -0.53     0.19    11.92     -35.23      -0.42    -0.23     16
  19       Si    0.68    -1.62    30.23    -169.99      -5.14    -6.76     16
  20       C    -0.02     0.01     5.89    -104.53      -0.62    -0.61     16
  21       C    -0.13     0.18     9.31      36.01       0.34     0.52     16
  22       C    -0.13     0.00     9.31     -39.64      -0.37    -0.37     16
  23       C    -0.01    -0.01     5.91    -104.23      -0.62    -0.62     16
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  27       H     0.06    -0.16     6.27     -51.93      -0.33    -0.49     16
  28       H     0.10    -0.27     8.14     -51.93      -0.42    -0.69     16
  29       H     0.10    -0.09     8.14     -51.93      -0.42    -0.51     16
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  45       H     0.10    -0.34     6.41     -51.93      -0.33    -0.67     16
 Total:          0.00    -6.48   368.69                 -7.89   -14.37