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   3       C    -0.44     0.77     8.65     101.05       0.87     1.65     16
   4       C    -0.40     0.78     4.98      37.53       0.19     0.97     16
   5       C    -0.12     0.21     5.05     -26.60      -0.13     0.07     16
   6       C     0.14     0.03     2.03     -68.42      -0.14    -0.11     16
   7       N    -0.72    -0.10     5.00     -55.27      -0.28    -0.37     16
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   9       O    -0.52    -3.80    15.01       5.30       0.08    -3.72     16
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  13       C    -0.08     0.23     2.82      36.01       0.10     0.33     16
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  15       Si    0.95    -2.47    25.06    -169.99      -4.26    -6.73     16
  16       H    -0.25     0.60     7.11      56.52       0.40     1.00     16
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  21       C     0.17     0.40     7.29     -38.96      -0.28     0.12     16
  22       F    -0.11    -0.58    15.55       2.25       0.04    -0.54     16
  23       C    -0.12    -0.04     5.18     -26.60      -0.14    -0.18     16
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  45       H     0.08    -0.04     7.99     -51.92      -0.41    -0.46     16
 Total:          0.00    -7.43   363.59                 -8.45   -15.88