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   5       C    -0.12     0.29     5.05     -26.60      -0.13     0.16     16
   6       C     0.14    -0.08     2.03     -68.42      -0.14    -0.22     16
   7       N    -0.72     0.60     5.00     -55.27      -0.28     0.32     16
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   9       O    -0.51    -3.19    15.01       5.30       0.08    -3.11     16
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  12       C     0.07    -0.09     6.60     -39.49      -0.26    -0.35     16
  13       F    -0.12     0.14    12.55       2.25       0.03     0.17     16
  14       C    -0.09     0.10     4.79    -104.49      -0.50    -0.40     16
  15       C    -0.09     0.15     2.80      36.01       0.10     0.25     16
  16       O    -0.53     0.35    12.88     -35.23      -0.45    -0.11     16
  17       Si    0.94    -1.15    26.08    -169.99      -4.43    -5.59     16
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  19       H    -0.25    -0.05     7.11      56.52       0.40     0.35     16
  20       H    -0.25     0.08     7.11      56.52       0.40     0.48     16
  21       C    -0.11     0.08     9.63     -39.57      -0.38    -0.30     16
  22       C     0.16     0.24     7.28     -38.97      -0.28    -0.05     16
  23       F    -0.10    -0.43    15.55       2.25       0.04    -0.40     16
  24       C    -0.12     0.04     5.18     -26.60      -0.14    -0.09     16
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  27       H     0.07    -0.09     7.96     -51.93      -0.41    -0.51     16
  28       H     0.07    -0.09     7.96     -51.93      -0.41    -0.50     16
  29       H     0.07    -0.16     7.96     -51.93      -0.41    -0.57     16
  30       H     0.07    -0.13     7.96     -51.93      -0.41    -0.54     16
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  45       H     0.08    -0.09     7.99     -51.93      -0.41    -0.50     16
 Total:          0.00    -7.19   367.37                 -8.25   -15.44