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   4       C    -0.41     2.50     4.98      72.22       0.36     2.86     16
   5       C    -0.11     0.75     5.05      30.68       0.15     0.91     16
   6       C     0.13    -0.16     2.03      44.68       0.09    -0.07     16
   7       N    -0.71     1.62     5.00    -447.04      -2.23    -0.61     16
   8       C     0.56     2.62     7.52      86.75       0.65     3.28     16
   9       O    -0.58    -8.05    16.01      -3.92      -0.06    -8.11     16
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  12       C    -0.15     0.78    10.01      22.28       0.22     1.00     16
  13       C     0.11    -0.06     6.63      22.47       0.15     0.08     16
  14       F    -0.13    -0.03    12.58      44.97       0.57     0.53     16
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  16       C    -0.08    -0.12     2.80      71.24       0.20     0.08     16
  17       O    -0.55    -1.68    12.88    -148.98      -1.92    -3.60     16
  18       Si    0.97     1.46    26.09      68.60       1.79     3.25     16
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  20       H    -0.27    -1.25     7.11      99.48       0.71    -0.54     16
  21       H    -0.26    -0.90     7.11      99.48       0.71    -0.19     16
  22       C    -0.03    -0.09     9.21      22.52       0.21     0.12     16
  23       C    -0.12     0.03     5.18      30.67       0.16     0.19     16
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 Total:          0.00   -18.46   362.88                  3.79   -14.67