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  18       F    -0.18    -0.33    16.61      44.97       0.75     0.42     16
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  21       C     0.17     1.35     6.69      22.84       0.15     1.50     16
  22       O    -0.48    -4.68    10.91     -68.77      -0.75    -5.43     16
  23       C    -0.13    -0.75     5.30     -19.79      -0.10    -0.86     16
  24       C    -0.08    -0.12     2.37      71.24       0.17     0.05     16
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  26       Si    0.78    -2.07    30.19      68.60       2.07     0.00     16
  27       C    -0.10    -0.34     8.30      22.30       0.19    -0.16     16
  28       H     0.09    -0.70     8.14      -2.39      -0.02    -0.72     16
  29       H     0.09    -0.87     8.08      -2.39      -0.02    -0.89     16
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  41       H     0.40     0.89     9.06     -74.05      -0.67     0.22     16
  42       H     0.08    -0.14     7.83      -2.38      -0.02    -0.16     16
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  44       H    -0.28    -0.50     7.11      99.48       0.71     0.20     16
  45       H    -0.29    -0.88     6.74      99.48       0.67    -0.21     16
  46       H     0.13     0.30     4.87      -2.91      -0.01     0.28     16
 Total:          0.00   -24.52   385.34                  0.30   -24.22