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   3       C     0.17     0.16     6.68     -39.24      -0.26    -0.10     16
   4       C    -0.25    -0.20     8.97     -39.29      -0.35    -0.56     16
   5       C     0.19     0.39     6.66     -39.24      -0.26     0.13     16
   6       O    -0.27    -0.80     9.00     -39.34      -0.35    -1.15     16
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   9       O    -0.50    -3.02    16.16     -14.36      -0.23    -3.25     16
  10       N    -0.73     1.83     5.08     -53.80      -0.27     1.56     16
  11       C     0.14    -0.28     2.45     -67.93      -0.17    -0.45     16
  12       H     0.10     0.02     7.58     -51.93      -0.39    -0.38     16
  13       C    -0.13     0.17     5.49     -26.73      -0.15     0.02     16
  14       C    -0.15     0.14     5.39     -26.73      -0.14    -0.01     16
  15       C     0.08    -0.11     2.40     -26.73      -0.06    -0.18     16
  16       H     0.08    -0.18     7.20     -51.93      -0.37    -0.56     16
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  20       F    -0.14    -0.30    17.53       2.25       0.04    -0.26     16
  21       F    -0.17    -0.22    15.44       2.25       0.03    -0.19     16
  22       C    -0.11     0.31     5.57     -26.73      -0.15     0.16     16
  23       C    -0.12     0.50     5.39     -26.73      -0.14     0.35     16
  24       C    -0.18    -0.28     5.27    -104.45      -0.55    -0.84     16
  25       C    -0.06    -0.12     2.37      36.01       0.09    -0.03     16
  26       O    -0.52    -1.97    12.88     -35.23      -0.45    -2.43     16
  27       Si    0.69     0.05    30.24    -169.99      -5.14    -5.09     16
  28       C    -0.04     0.00     8.65     -39.63      -0.34    -0.35     16
  29       C    -0.24     0.02     9.04     -39.41      -0.36    -0.33     16
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  32       H     0.06    -0.20     7.66     -51.93      -0.40    -0.60     16
  33       H     0.14    -0.16     6.30     -52.49      -0.33    -0.49     16
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  37       H     0.08     0.07     8.14     -51.93      -0.42    -0.35     16
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  50       H     0.13    -0.29     6.29     -52.49      -0.33    -0.62     16
 Total:          0.00   -10.09   418.05                 -8.57   -18.66