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   4       C    -0.48     1.80     8.65     113.37       0.98     2.78     16
   5       C    -0.43     3.84     4.56      71.98       0.33     4.17     16
   6       C     0.12    -0.29     5.05      86.38       0.44     0.14     16
   7       N    -0.71     1.73     5.51    -466.09      -2.57    -0.84     16
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   9       O    -0.58    -7.87    16.34      -3.94      -0.06    -7.94     16
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  14       F    -0.13    -0.23    12.82      44.97       0.58     0.35     16
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  16       C    -0.08    -0.07     2.97      71.24       0.21     0.15     16
  17       O    -0.55    -1.27    11.64    -148.98      -1.73    -3.00     16
  18       Si    0.97     0.99    26.09      68.60       1.79     2.78     16
  19       H    -0.23    -0.47     5.28      99.48       0.53     0.05     16
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  21       H    -0.27    -1.12     7.11      99.48       0.71    -0.41     16
  22       C    -0.03    -0.10     8.78      22.52       0.20     0.09     16
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  24       H     0.06    -0.18     7.96      -2.39      -0.02    -0.20     16
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  41       H     0.14     0.77     6.65      -2.91      -0.02     0.75     16
 Total:          0.00   -18.39   343.21                  4.38   -14.01