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   3       C    -0.47     3.18     8.65     113.37       0.98     4.16     16
   4       C    -0.48     2.47     8.65     113.37       0.98     3.45     16
   5       C    -0.44     4.31     4.56      71.98       0.33     4.64     16
   6       C     0.11    -0.49     5.05      86.38       0.44    -0.05     16
   7       N    -0.68     1.47     5.56    -463.07      -2.57    -1.10     16
   8       C     0.51     2.73     7.34      87.66       0.64     3.38     16
   9       O    -0.51    -6.41    16.50      16.01       0.26    -6.15     16
  10       C     0.43     2.29     2.05      71.24       0.15     2.44     16
  11       F    -0.17    -0.63    15.31      44.97       0.69     0.06     16
  12       F    -0.17    -0.61    15.27      44.97       0.69     0.08     16
  13       O    -0.30    -2.89     9.60     -73.35      -0.70    -3.59     16
  14       C     0.08     0.60     6.48      22.51       0.15     0.74     16
  15       C    -0.20    -0.91     8.26      22.37       0.18    -0.72     16
  16       C    -0.09    -0.16     8.66      22.26       0.19     0.03     16
  17       C    -0.14    -0.09     5.35     -19.85      -0.11    -0.19     16
  18       C    -0.07     0.15     2.80      71.24       0.20     0.35     16
  19       O    -0.55     0.40    12.83    -148.98      -1.91    -1.51     16
  20       Si    0.98    -1.85    25.13      68.60       1.72    -0.13     16
  21       H    -0.26     0.14     7.11      99.48       0.71     0.85     16
  22       H    -0.27    -0.43     7.11      99.48       0.71     0.28     16
  23       H    -0.25     0.51     7.04      99.48       0.70     1.21     16
  24       C    -0.05    -0.06     9.68      22.25       0.22     0.16     16
  25       C    -0.13    -0.55     9.99      22.37       0.22    -0.33     16
  26       H     0.07    -0.38     7.96      -2.39      -0.02    -0.40     16
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  45       H     0.15     0.30     8.06      -2.91      -0.02     0.28     16
 Total:          0.00   -17.22   383.87                  4.91   -12.31