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  15       F    -0.14    -0.45    17.27       2.25       0.04    -0.41     16
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  19       C    -0.14     0.18     7.25     -25.92      -0.19    -0.01     16
  20       C    -0.15     0.02    10.46     -37.45      -0.39    -0.37     16
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  24       Si    0.70    -1.13    32.09    -169.99      -5.45    -6.58     16
  25       O    -0.17    -0.13     8.89       7.62       0.07    -0.06     16
  26       H     0.09    -0.13     8.14     -51.93      -0.42    -0.56     16
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  35       H     0.13    -0.35     8.05     -52.49      -0.42    -0.77     16
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  41       H    -0.25    -0.22     7.11      56.52       0.40     0.18     16
  42       H    -0.25    -0.37     7.11      56.52       0.40     0.03     16
 Total:          0.00    -7.40   361.46                -10.22   -17.63