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  21       C     0.03    -0.10     6.47      41.35       0.27     0.17     16
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  24       Si    0.80    -4.46    30.56      68.60       2.10    -2.36     16
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  26       H     0.06     0.29     8.14      -2.39      -0.02     0.27     16
  27       H     0.08     0.00     8.14      -2.39      -0.02    -0.02     16
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  35       H     0.15    -1.39     8.05      -2.91      -0.02    -1.41     16
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  41       H    -0.29    -0.11     7.11      99.48       0.71     0.60     16
  42       H    -0.29    -0.45     7.11      99.48       0.71     0.26     16
  43       H     0.17    -0.89     6.19      -2.91      -0.02    -0.91     16
 Total:          0.00   -20.80   362.32                  0.27   -20.53