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   4       H     0.10    -0.30     7.87      -2.39      -0.02    -0.32     16
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  13       F    -0.14    -1.66    15.55      44.97       0.70    -0.97     16
  14       C    -0.15     0.36    10.01      22.28       0.22     0.58     16
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  16       C    -0.13     0.73     5.39     -19.90      -0.11     0.62     16
  17       C    -0.08     0.53     2.82      71.24       0.20     0.73     16
  18       O    -0.54     2.00    12.76    -148.98      -1.90     0.10     16
  19       Si    0.76    -5.45    29.77      68.60       2.04    -3.41     16
  20       C    -0.03     0.08     9.09      22.52       0.20     0.28     16
  21       C    -0.17    -0.16     7.73      31.18       0.24     0.08     16
  22       H     0.05    -0.19     8.14      -2.39      -0.02    -0.21     16
  23       H     0.05    -0.12     8.14      -2.39      -0.02    -0.14     16
  24       H     0.09    -0.32     8.14      -2.39      -0.02    -0.33     16
  25       H     0.10    -0.35     8.11      -2.39      -0.02    -0.37     16
  26       H     0.09    -0.37     8.14      -2.38      -0.02    -0.39     16
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  29       H     0.17    -1.98     4.86      -2.91      -0.01    -2.00     16
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  34       H     0.16    -1.13     6.41      -2.91      -0.02    -1.15     16
  35       H     0.07     0.16     8.14      -2.39      -0.02     0.14     16
  36       H     0.09     0.12     8.14      -2.39      -0.02     0.10     16
 Total:          0.00   -21.31   310.01                  0.20   -21.11