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  15       N    -0.56     1.68     6.04    -192.24      -1.16     0.52     16
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  17       C    -0.20    -0.02     5.57     -18.64      -0.10    -0.12     16
  18       C    -0.06     0.04     1.88      71.24       0.13     0.17     16
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  20       Si    0.78    -4.03    30.83      68.60       2.11    -1.92     16
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 Total:          0.00   -23.01   343.57                 -1.86   -24.87