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  10       O    -0.57    -7.59    16.04      -3.89      -0.06    -7.66     16
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  13       N    -0.49    -0.15    10.35    -194.76      -2.01    -2.17     16
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  15       C    -0.18     0.11     5.39     -19.81      -0.11     0.00     16
  16       C    -0.07     0.14     2.83      71.24       0.20     0.34     16
  17       O    -0.55     0.21    12.78    -148.98      -1.90    -1.70     16
  18       Si    0.78    -3.76    29.82      68.60       2.05    -1.71     16
  19       C     0.00    -0.01     9.31      22.73       0.21     0.21     16
  20       C    -0.17     0.15     7.73      31.18       0.24     0.39     16
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  23       H     0.05    -0.23     8.14      -2.39      -0.02    -0.25     16
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  31       H    -0.30    -0.91     7.11      99.48       0.71    -0.20     16
  32       H    -0.28     0.27     7.11      99.48       0.71     0.98     16
  33       H     0.14     0.83     7.74      -2.91      -0.02     0.81     16
  34       H     0.07     0.03     8.14      -2.39      -0.02     0.01     16
  35       H     0.09    -0.05     8.14      -2.39      -0.02    -0.07     16
 Total:          0.00   -20.07   300.55                 -1.35   -21.42