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  21       Si    0.70    -0.50    30.50    -169.99      -5.18    -5.69     16
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  23       C    -0.14     0.11     7.21     -25.92      -0.19    -0.08     16
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  26       H     0.06    -0.11     7.66     -51.93      -0.40    -0.50     16
  27       H     0.10    -0.27     8.14     -51.93      -0.42    -0.69     16
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  41       H     0.07    -0.01     8.14     -51.93      -0.42    -0.43     16
  42       H     0.10    -0.10     7.71     -51.93      -0.40    -0.50     16
  43       H     0.13     0.09     8.05     -52.49      -0.42    -0.33     16
 Total:          0.00    -7.58   356.77                -11.73   -19.31