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  13       C     0.18     1.35     9.92      84.71       0.84     2.19     16
  14       C    -0.25    -1.17     5.40     -19.69      -0.11    -1.27     16
  15       C    -0.05     0.15     2.82      71.24       0.20     0.35     16
  16       O    -0.57     1.50    12.82    -148.98      -1.91    -0.41     16
  17       Si    0.77    -3.02    29.92      68.60       2.05    -0.96     16
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  20       C    -0.14     0.00     7.66      31.12       0.24     0.24     16
  21       H     0.08    -0.24     8.14      -2.39      -0.02    -0.26     16
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 Total:          0.00   -16.62   318.51                 -1.05   -17.67