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   9       H     0.13    -0.20     7.41     -51.93      -0.38    -0.59     16
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  13       C     0.15    -0.12     9.84     -17.57      -0.17    -0.30     16
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  16       O    -0.54     0.42    12.84     -35.23      -0.45    -0.04     16
  17       Si    0.68    -1.59    29.83    -169.99      -5.07    -6.66     16
  18       C    -0.04    -0.01     9.82     -39.26      -0.39    -0.40     16
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  20       F    -0.13    -0.29    16.65       2.25       0.04    -0.25     16
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  23       H     0.06    -0.04     8.13     -51.93      -0.42    -0.46     16
  24       H     0.10    -0.31     8.14     -51.93      -0.42    -0.73     16
  25       H     0.09    -0.20     8.14     -51.93      -0.42    -0.63     16
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  30       H     0.38    -1.75     8.70      45.56       0.40    -1.35     16
  31       H    -0.25     0.02     7.11      56.52       0.40     0.42     16
  32       H    -0.25    -0.29     7.11      56.52       0.40     0.12     16
  33       H     0.15    -0.05     8.06     -52.49      -0.42    -0.48     16
  34       H     0.09    -0.08     8.09     -51.93      -0.42    -0.50     16
  35       H     0.09    -0.22     8.14     -51.93      -0.42    -0.64     16
 Total:          0.00    -7.36   307.79                 -8.10   -15.46