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  15       C    -0.20     0.20     5.36     -19.77      -0.11     0.09     16
  16       C    -0.07     0.19     2.82      71.23       0.20     0.39     16
  17       O    -0.55    -0.36    12.84    -148.98      -1.91    -2.28     16
  18       Si    0.77    -3.48    29.91      68.60       2.05    -1.43     16
  19       C    -0.04    -0.07     9.82      22.48       0.22     0.16     16
  20       C    -0.04    -0.17     7.35      22.59       0.17     0.00     16
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  42       H     0.09    -0.26     8.14      -2.38      -0.02    -0.28     16
 Total:          0.00   -11.88   343.52                  0.43   -11.45