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   5       C    -0.10     0.22     4.26     -10.95      -0.05     0.17     16
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  14       C     0.21     0.82    10.99      84.71       0.93     1.75     16
  15       C    -0.25    -0.43     5.40     -19.69      -0.11    -0.53     16
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  17       O    -0.56     0.14    12.82    -148.98      -1.91    -1.77     16
  18       Si    0.76    -3.30    29.91      68.60       2.05    -1.25     16
  19       C     0.19     0.46     9.92      84.71       0.84     1.30     16
  20       N    -0.57    -3.45     8.97    -197.98      -1.78    -5.23     16
  21       C    -0.13     0.34     7.17      31.18       0.22     0.56     16
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 Total:          0.00   -19.87   311.17                  2.16   -17.72