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  13       N    -0.48    -0.88     8.06     -12.36      -0.10    -0.98     16
  14       C     0.12     0.06     9.83     -17.57      -0.17    -0.11     16
  15       C    -0.13    -0.05     5.39    -104.47      -0.56    -0.62     16
  16       C    -0.07     0.09     2.81      36.01       0.10     0.19     16
  17       O    -0.54    -0.10    12.82     -35.23      -0.45    -0.55     16
  18       Si    0.68    -1.51    29.87    -169.99      -5.08    -6.58     16
  19       C    -0.06    -0.07     9.82     -39.26      -0.39    -0.45     16
  20       C     0.04     0.08     7.01     -39.10      -0.27    -0.19     16
  21       F    -0.12    -0.35    14.88       2.25       0.03    -0.32     16
  22       C    -0.10    -0.13     6.04     -25.94      -0.16    -0.29     16
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  24       H     0.06     0.03     8.13     -51.93      -0.42    -0.39     16
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  27       H     0.09    -0.24     8.14     -51.93      -0.42    -0.66     16
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  35       H    -0.25    -0.23     7.05      56.52       0.40     0.17     16
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  37       H     0.09     0.10     8.01     -51.92      -0.42    -0.31     16
  38       H     0.10     0.41     7.44     -51.93      -0.39     0.02     16
 Total:          0.00    -7.89   321.49                 -8.27   -16.16