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  14       C     0.12     0.15     9.83      84.60       0.83     0.99     16
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  16       C    -0.08     0.26     2.81      71.24       0.20     0.46     16
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  18       Si    0.76    -3.70    29.87      68.60       2.05    -1.65     16
  19       C    -0.06    -0.17     9.82      22.48       0.22     0.05     16
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  21       F    -0.13    -0.94    14.88      44.97       0.67    -0.27     16
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 Total:          0.00   -20.43   321.49                  1.73   -18.69