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  13       O    -0.54     0.26    12.85     -35.23      -0.45    -0.19     16
  14       Si    0.94    -1.16    25.21    -169.99      -4.29    -5.45     16
  15       H    -0.25     0.13     7.11      56.52       0.40     0.53     16
  16       H    -0.25    -0.07     7.11      56.52       0.40     0.34     16
  17       H    -0.25     0.29     7.05      56.52       0.40     0.69     16
  18       C     0.19     0.21     9.92     -17.23      -0.17     0.04     16
  19       N    -0.56    -1.46     8.40     -13.93      -0.12    -1.57     16
  20       H     0.05    -0.02     8.14     -51.93      -0.42    -0.44     16
  21       H     0.07    -0.17     6.83     -51.93      -0.35    -0.52     16
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  36       H     0.38    -1.25     8.70      45.56       0.40    -0.85     16
  37       H     0.16    -0.13     5.03     -52.49      -0.26    -0.39     16
 Total:          0.00    -5.33   306.11                 -7.84   -13.17