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   6       C    -0.45     0.29     8.65     101.05       0.87     1.16     16
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  13       O    -0.55    -0.32    12.82     -35.23      -0.45    -0.77     16
  14       Si    0.94    -0.10    25.17    -169.99      -4.28    -4.38     16
  15       H    -0.26     0.03     7.11      56.52       0.40     0.43     16
  16       H    -0.25    -0.31     7.04      56.52       0.40     0.08     16
  17       H    -0.25    -0.13     7.11      56.52       0.40     0.27     16
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  20       H     0.05    -0.10     8.14     -51.93      -0.42    -0.53     16
  21       H     0.08    -0.23     6.82     -51.93      -0.35    -0.58     16
  22       H     0.07    -0.19     5.98     -51.93      -0.31    -0.50     16
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  30       H     0.07    -0.07     7.96     -51.93      -0.41    -0.49     16
  31       H     0.06     0.19     7.79     -51.93      -0.40    -0.22     16
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  37       H     0.38    -1.44     8.74      45.56       0.40    -1.04     16
  38       H     0.15     0.23     4.87     -52.49      -0.26    -0.03     16
 Total:          0.00    -5.50   309.66                 -6.99   -12.49