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   4       C    -0.18    -0.33     8.37      37.16       0.31    -0.02     16
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  14       H     0.12     0.01     7.41     -51.92      -0.38    -0.37     16
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  21       O    -0.55     0.39    12.75     -35.23      -0.45    -0.06     16
  22       Si    0.68    -1.45    29.82    -169.99      -5.07    -6.51     16
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  24       C    -0.02    -0.05     7.35     -39.09      -0.29    -0.34     16
  25       F    -0.13    -0.37    16.65       2.25       0.04    -0.33     16
  26       C    -0.15     0.25     7.43     -25.92      -0.19     0.06     16
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  47       H     0.15     0.08     8.06     -52.49      -0.42    -0.35     16
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 Total:          0.00    -8.04   400.23                -10.52   -18.56