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   4       C    -0.18    -0.27     8.37      37.16       0.31     0.04     16
   5       O    -0.37    -0.87     9.94     -40.31      -0.40    -1.27     16
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  13       H     0.12    -0.15     7.45     -51.93      -0.39    -0.54     16
  14       N    -0.70     0.39     5.42     -53.06      -0.29     0.10     16
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  16       N    -0.51    -0.49     9.15     -12.36      -0.11    -0.61     16
  17       C     0.15    -0.08     9.84     -17.57      -0.17    -0.25     16
  18       C    -0.21     0.13     5.40    -104.47      -0.56    -0.44     16
  19       C    -0.06     0.08     2.84      36.01       0.10     0.19     16
  20       O    -0.53    -0.12    12.78     -35.23      -0.45    -0.57     16
  21       Si    0.68    -1.45    29.82    -169.99      -5.07    -6.52     16
  22       C    -0.04    -0.02     9.75     -39.26      -0.38    -0.40     16
  23       C    -0.02    -0.02     7.35     -39.10      -0.29    -0.31     16
  24       F    -0.13    -0.29    16.65       2.25       0.04    -0.25     16
  25       C    -0.15     0.49     7.57     -25.92      -0.20     0.30     16
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 Total:          0.00    -7.12   378.79                 -9.87   -16.99