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   4       C    -0.18    -0.65     8.37      71.98       0.60    -0.05     16
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  21       Si    0.78    -3.67    29.82      68.60       2.05    -1.63     16
  22       C    -0.04    -0.10     9.75      22.48       0.22     0.12     16
  23       C    -0.05    -0.22     7.35      22.58       0.17    -0.05     16
  24       F    -0.15    -1.07    16.65      44.97       0.75    -0.32     16
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  50       H     0.08    -0.09     8.11      -2.38      -0.02    -0.11     16
 Total:          0.00   -15.97   393.43                  2.55   -13.43