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   4       C    -0.08     0.23     1.77     -10.80      -0.02     0.21     16
   5       H     0.07    -0.14     8.14      -2.39      -0.02    -0.16     16
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  12       N    -0.52    -1.91     9.20    -193.04      -1.78    -3.69     16
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  15       C    -0.06     0.13     2.84      71.24       0.20     0.33     16
  16       O    -0.56     0.69    12.78    -148.98      -1.90    -1.21     16
  17       Si    0.77    -3.14    29.82      68.60       2.05    -1.09     16
  18       C    -0.04    -0.09     9.75      22.48       0.22     0.13     16
  19       C    -0.04    -0.18     7.35      22.59       0.17    -0.02     16
  20       F    -0.14    -0.86    16.65      44.97       0.75    -0.11     16
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  44       H     0.07    -0.15     6.43      -2.39      -0.02    -0.17     16
 Total:          0.00   -10.22   344.19                  1.35    -8.88