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   5       O    -0.54    -5.20    15.73      21.95       0.35    -4.85     16
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  17       C    -0.05     0.02     2.84      71.24       0.20     0.22     16
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  19       Si    0.77    -1.25    29.82      68.60       2.05     0.80     16
  20       C    -0.01    -0.01     9.77      22.44       0.22     0.21     16
  21       C    -0.24    -0.15     8.84      22.50       0.20     0.05     16
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 Total:          0.00   -16.95   355.79                  0.61   -16.34