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  17       C    -0.05     0.07     2.84      36.01       0.10     0.17     16
  18       O    -0.54     0.38    12.78     -35.23      -0.45    -0.07     16
  19       Si    0.69    -1.42    29.82    -169.99      -5.07    -6.49     16
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  21       C    -0.02    -0.03     7.35     -39.09      -0.29    -0.31     16
  22       F    -0.13    -0.26    16.65       2.25       0.04    -0.22     16
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  44       H     0.08    -0.15     8.11     -51.93      -0.42    -0.57     16
 Total:          0.00    -6.87   364.79                -10.14   -17.01