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   4       O    -0.99    -7.32    18.10    -127.37      -2.31    -9.62     16
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   9       C     0.15    -0.76     2.80      44.99       0.13    -0.64     16
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  14       C     0.15    -0.33     9.84      84.61       0.83     0.50     16
  15       C    -0.21     0.27     5.40     -19.76      -0.11     0.17     16
  16       C    -0.06     0.17     2.84      71.24       0.20     0.37     16
  17       O    -0.56     0.85    12.78    -148.98      -1.90    -1.06     16
  18       Si    0.78    -4.08    29.82      68.60       2.05    -2.03     16
  19       C    -0.04    -0.08     9.75      22.48       0.22     0.13     16
  20       C    -0.05    -0.20     7.35      22.59       0.17    -0.03     16
  21       F    -0.15    -1.08    16.65      44.97       0.75    -0.33     16
  22       C    -0.12     0.86     5.62      30.59       0.17     1.03     16
  23       C    -0.12     0.89     4.75      30.59       0.15     1.04     16
  24       H     0.15    -1.96     6.77      -2.39      -0.02    -1.97     16
  25       H     0.13    -1.10     8.14      -2.39      -0.02    -1.12     16
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  41       H     0.10    -1.37     6.39      -2.39      -0.02    -1.39     16
 Total:          0.00   -28.23   343.05                 -3.01   -31.23