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  14       C    -0.12    -0.04     7.47      31.12       0.23     0.19     16
  15       C     0.28     1.91     6.41     133.08       0.85     2.77     16
  16       N    -0.50    -3.19     8.61    -193.03      -1.66    -4.85     16
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  19       C    -0.07     0.23     2.83      71.24       0.20     0.43     16
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  21       Si    0.76    -3.21    29.82      68.60       2.05    -1.16     16
  22       C    -0.06    -0.19     9.75      22.48       0.22     0.03     16
  23       C     0.02     0.11     6.99      22.58       0.16     0.26     16
  24       F    -0.13    -0.91    14.79      44.97       0.67    -0.24     16
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  26       H     0.08     0.12     5.61      -2.39      -0.01     0.10     16
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  30       H     0.07     0.48     7.90      -2.39      -0.02     0.46     16
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 Total:          0.00   -14.69   376.84                  0.58   -14.11