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  15       C    -0.01     0.00     2.99      36.01       0.11     0.11     16
  16       O    -0.54    -0.03    12.87     -35.23      -0.45    -0.48     16
  17       Si    0.65    -0.51    31.05    -169.99      -5.28    -5.79     16
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  21       C    -0.13     0.20     5.96     -25.90      -0.15     0.05     16
  22       H     0.06    -0.05     8.13     -51.93      -0.42    -0.47     16
  23       H     0.10    -0.33     8.14     -51.93      -0.42    -0.75     16
  24       H     0.06    -0.05     8.13     -51.93      -0.42    -0.47     16
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  31       H     0.12    -0.02     7.96     -51.93      -0.41    -0.43     16
  32       H     0.38    -1.34     8.70      45.56       0.40    -0.94     16
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  39       H     0.11     0.02     7.44     -51.93      -0.39    -0.37     16
 Total:          0.00    -7.42   344.60                 -8.97   -16.39