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  16       O    -0.54     0.45    12.78     -35.23      -0.45     0.00     16
  17       Si    0.69    -1.62    29.82    -169.99      -5.07    -6.69     16
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  19       C    -0.02    -0.02     7.35     -39.10      -0.29    -0.31     16
  20       F    -0.13    -0.31    16.65       2.25       0.04    -0.27     16
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  24       H     0.06    -0.03     8.13     -51.93      -0.42    -0.46     16
  25       H     0.06    -0.04     8.13     -51.93      -0.42    -0.46     16
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  42       H     0.09    -0.12     7.37     -51.93      -0.38    -0.50     16
 Total:          0.00    -7.87   355.42                 -7.89   -15.76