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   9       Si    0.99    -2.22    25.48      68.60       1.75    -0.47     16
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  15       F    -0.18    -1.49    15.97      44.97       0.72    -0.77     16
  16       F    -0.18    -1.57    15.40      44.97       0.69    -0.88     16
  17       F    -0.17    -1.65    14.87      44.97       0.67    -0.98     16
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  19       Si    1.10    -8.60    10.80      68.60       0.74    -7.86     16
  20       C    -0.46     2.95     7.86     113.37       0.89     3.84     16
  21       C    -0.46     3.04     8.65     113.37       0.98     4.02     16
  22       C    -0.46     2.96     8.65     113.37       0.98     3.94     16
  23       H     0.13    -0.89     7.05      -2.91      -0.02    -0.91     16
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  26       H     0.16    -1.10     4.86      -2.91      -0.01    -1.11     16
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  29       H     0.14     0.25     5.26      -2.91      -0.02     0.24     16
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 Total:          0.00   -11.20   315.49                  8.60    -2.61