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  14       H    -0.25    -0.32     7.11      56.52       0.40     0.08     16
  15       H    -0.25    -0.39     6.74      56.52       0.38    -0.01     16
  16       Si    1.05    -1.00    12.14    -169.99      -2.06    -3.06     16
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  20       H     0.10    -0.21     7.72     -52.49      -0.41    -0.62     16
  21       H     0.09    -0.03     7.66     -52.48      -0.40    -0.43     16
  22       H     0.13     0.01     8.06     -52.48      -0.42    -0.41     16
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  30       H     0.07     0.03     7.94     -51.93      -0.41    -0.38     16
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 Total:          0.00    -4.23   315.00                 -7.20   -11.44